99,999% Titan phún xạ có độ tinh khiết cao Mục tiêu Gr1 Titan nguyên tố thử nghiệm

Mục tiêu titan 99,999% mục tiêu phún xạ có độ tinh khiết cao titan nguyên tố thử nghiệm

Mục tiêu titan tùy chỉnh Mục tiêu tròn titan

Thông thường chúng tôi sẽ cung cấp một báo cáo kiểm tra chất lượng như thế này với hàng hóa,

trong đó cho biết thành phần hóa học và tính chất vật lý

Mục tiêu hình vuông bằng titan, mục tiêu tròn bằng titan, mục tiêu hình dạng đặc biệt bằng titan

Độ tinh khiết là một trong những chỉ số hiệu suất mục tiêu.

Độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của phim.

Các yêu cầu về hiệu suất chính đối với các mục tiêu:

Sự tinh khiết

Độ tinh khiết của mục tiêu là một trong những chỉ số hiệu suất chính của mục tiêu vì độ tinh khiết của mục tiêu ảnh hưởng rất nhiều đến hiệu suất của phim.Tuy nhiên, trong các ứng dụng thực tế, các yêu cầu về độ tinh khiết của vật liệu đích là không giống nhau.Ví dụ, với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp vi điện tử. Kích thước của wafer silicon đã được mở rộng từ 6 ", 8" lên 12 ", chiều rộng dây giảm từ 0,5 um xuống 0,25 um, 0,18 um và 0,13 um. Trước đây, độ tinh khiết mục tiêu là 99,995%.

Hàm lượng tạp chất

Nguồn chính của màng lắng đọng là oxy và độ ẩm của chất rắn mục tiêu và các lỗ rỗng.Các mục tiêu cho các ứng dụng khác nhau có các yêu cầu khác nhau đối với các mức tạp chất khác nhau.Ví dụ, các chỉ tiêu của nhôm nguyên chất và hợp kim nhôm được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn có các yêu cầu đặc biệt về hàm lượng kim loại kiềm và hàm lượng nguyên tố phóng xạ.

Tỉ trọng

Để giảm các lỗ rỗng của chất rắn mục tiêu và cải thiện hiệu suất của các màng bắn tung tóe, mục tiêu thường cần phải dày đặc hơn.Mật độ mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phún xạ mà còn ảnh hưởng đến các đặc tính điện và quang học của màng.Mật độ mục tiêu càng cao, hiệu suất phim càng tốt.Ngoài ra, khi mật độ và cường độ mục tiêu được nâng lên, mục tiêu có thể chịu được ứng suất nhiệt trong quá trình phún xạ.Mật độ là một trong những chỉ số hiệu suất mục tiêu.

Kích thước hạt và sự phân bố kích thước

Thông thường mục tiêu là đa tinh thể và kích thước hạt có thể theo thứ tự từ micromet đến milimet.Trong trường hợp của cùng một mục tiêu, tốc độ phún xạ của mục tiêu hạt mịn nhanh hơn tốc độ phún xạ của mục tiêu hạt thô, trong khi sự lắng đọng phún xạ của mục tiêu cỡ hạt nhỏ hơn (phân bố đồng đều) có phân bố độ dày đồng đều (đồng nhất) .Phân bổ.